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隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。

近年來，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計，我國已有的特種氣體達260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)（吸附、膜分離）、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展，更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅1烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙1烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，特種氣體廠家，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達國家相比，尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

在半導(dǎo)體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴散等過程中使用的各種化學(xué)氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。

高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氫，氮，特種氣體價格多少，氦，ya而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔铮胤N氣體廠家直銷，純度為99199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，成都特種氣體，高純氮，氫，ya，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。

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